Kalrez®
在恶劣环境中稳定
专业密封设计用于关键任务应用。

O-rings made with high-performance Kalrez®.
从航空航天和化学工业到芯片制程以及油气应用,杜邦™ Kalrez® 弹性体旨在提供更高的稳定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
尽管杜邦没有发明 O 形圈或特种密封胶,但它在创新和发展方面已有 40 年的历史,创造出可承受 挑战性的工作环境的密封胶。
除了其清洁度和纯度外,Kalrez®聚合物分子链被设计为最惰性的聚合物结构之一,可耐受 1800 多种不同的化学物质,同时提供高温稳定性。
Kalrez®全氟弹性体是按照 质量标准制造的。每个部件都有记录的可追溯性,并且这些部件具有行业内最长、最可预测的使用寿命之一。
Kalrez®零件经过长期验证性能可以减少密封件的更换,维修和检查的频率,增加了过程和设备的正常运行时间,从而提高生产率和良率。

用途
泵、反应釜和法兰接头的密封与 O 形圈
阀杆填料系统
用于航空航天、石油和天然气设备、运输和化工的高性能零件
生命科学应用
半导体加工
光伏制造密封件
食品接触材料
优势
耐受 1800 多种化学物质
高达 327°C 高温耐受性
保持密封完整性
降低维护和运营成本
密封寿命长
符合药品和食品加工安全标准
提供标准和专用化合物,供定制使用


杜邦Kalrez®CP222全氣弹性体零件是用于独特定制形状或高产量应用的 产品。Kalrez°CP222零件提供 的化学稳定性和机械性能,并延续了杜邦提供高价值全氟弹性体零件以延长平均修复间隔时间(MTBR)的传统。
除了高流量0形环应用外,Kalrez°CP222}可以在各种定制几何形状中制造,这些几何形状曾经是全氣弹性体无法企及的。现在,Kalrez®}部件可以设计成适合复杂的新设备,或者可以作为现有应用的性能升级。
Kalrez°CP222通过提供具有独特型材和光滑表面处理的要件,拓展了定制全氟橡胶要件的可能性。
耐化学性
对于许多应用来说,弹性体的低体积膨胀对于设备的正常运行至关重要。过度的膨胀可能会导致由于密封失效和润滑液体的泄漏而导致设备过早停机。体积膨胀是性能的良好预测指标;然而,还需要进行其他物理性能测试来进一步定义产品性能。
以下化学品代表了行业中一些 性的应用。这些测试结果表明了性能;然而,所有应用都是独特的,强烈建议在实际工艺流体中进行浸没测试。


杜邦公司™^Kalrez®提供最广泛的化学抗性
对超过1800种化学物质具有 的抵抗力
杜邦全氟弹性体部件""Kalrezh具有几乎普遍的化学抗性。抵抗超过1800种化学物质的侵袭,溶剂和等离子体。常规使用Kalrez产品对于需要广泛的耐化学性的所有应用,不再需要将不同的产品存放在仓库中,从而降低库存成本。
最小膨胀量
化学物质引起的膨胀可能导致O型圈和由其他轮胎制成的密封部件从密封槽外膨胀,最终导致密封件松动。Kalrez°组件在暴露于各种产品时,可承受显著的膨联
化学品和溶剂,包括浓缩的硝酸氢氧化钠,乙二胺和蒸汽。
优化化学阻力和密封性能
为了在特定应用中 限度地提高密封性能,杜邦不断开发新产品以满足新的需求。在化学品和碳氢化合物加工领域,杜邦Kalrez@Spectrum产品系列"提供更高的耐化学性和更高的热稳定性。这种组合为公司提供了更大的操作空间,用于其他化学用途和更高的热传递。有关Kalrez组件的化学兼容性更具体的信息,请联系请参阅杜邦的“耐化学性指南”或Kalrez应用指南,两者都可以在我们的网站上找到,或联系Kalrez部件的授权经销商


杜邦公司"“Kalrez®在高温应用和工艺中表现优异
工作温度高达327°C
即使长时间暴露在高达327°C的温度下,杜邦组件"Kalrez@比其他可用于高温应用的弹性体更好地保持其弹性和恢复性能。这些特性,加上几乎普遍的化学抗性,它们使Kalrezdi组件能够在非常广泛的工艺环境中运行。
保持密封性能
正如ISO3384测试所证明的,Kalrez组件在保持密封强度方面优于其他弹性体,密封寿命的衡量标准。即使在恶劣和苛刻的条件下,i组件Kalrez更长时间保持其密封强度。此外,由于具有与真橡胶相当的弹性,i组件Kalrez@防止由塑料流动引起的泄漏,聚四氟乙烯(聚四氟乙烯)有一个更大的问题。
压缩套件已更换
Kalrez@组件具有较小的压缩集,特性保证了长期 的密封性。由于Kalrezhan组件在压缩下比其他全氟弹性体更好的恢复,即使在长时间受力的情况下,它们也能更好地保持形状。

杜邦公司™Kalrez®在涉及化学品和碳氢化合物的最苛刻工艺中,延长了平均维修时间和维护寿命
杜邦KalrezKVSP减少挥发性排放物并改善过程控制
Testato fino alla classe 600 secondo ANSl/FC191-1-1994
*Certificato secondo le norme TA Luft*Confo airequitidoma crettNa sumeattrezzature a presslone PED9T/23/EC
Kalrez”确保用于加工化学品和碳氢化合物的密封件的使用寿命
在泵、阀门、机械密封或分析设备中杜邦部件"“Kalrez年复一年地证明了其品质。其对 侵蚀性的化学品和高温的高耐性使其能够抵抗膨胀和脆化,密封过早失效的主要原因之一。无论是O形圈,定制或系统形式阀杆包装,i组件Kalrez”提高生产力,限制挥发性排放物并减少昂贵的密封泄漏4
减少摩擦与系统Kalrez阀杆包装KVSP™
在手动和自动控制中,使用杜邦"卡尔雷兹®KV SPT杜邦Vespel支撑部件的V形环Kalreze组合物,可承受高达288°C的温度,可提高阀门性能,降低维护成本并限制挥发性排放量至10 ppm以下。KalrezKVSP™无需维护,是石墨和聚四氟乙烯密封系统的替代品。
减少摩擦,Kalrez°KVSP提高了过程控制的可变性,提高产量和产品质量。摩擦数据表明,Kalrez?KVSP™提供与PTFE密封系统类似的性能。由于它们不需要对阀门进行修改,安装后很少需要调整,卡尔雷兹KVSPT“在阀门性能方面是一个重要的更新。

杜邦公司"“Kalrez°确保制药过程的完整性和纯度
其结合了热性能和化学性能以及类似橡胶的密封性能,杜邦组件"Kalrez8为制药行业提供了新的保护级别,防止工艺污染和粘合剂沉降。类似于PTFE用于清洁,热和化学抗性Kalrezha通用密封材料的弹性和抗压性,例如乙烯-丙烯聚合物(EPDM)。氟弹性体(EKM)和硅橡胶。已开发出Kalrez®neri和白色产品,以满足特殊密封要求。现代制药和生物制药生产流程,以提高纯度及完整性。
符合FDA和USP标准
根据食品接触通知证书FCN000101,美国食品和药物管理局(FDA)已确认Kalrez”6221和Kalrez°6230全氟弹性体成分符合直接与食品接触的重复使用要求。该证书是FDA针对食品接触物质的上市前通知流程后颁发的,根据《联邦食品法》第409(h)条的规定,《药品和化妆品法》(21U.S.C.348(h))。这是FDA批准使用食品接触产品的主要工具。FCN000101规定材料的可提取性限制不得超过0.031毫克/平方厘米。指定的Kalrez°6221和Kalrez®6230产品已根据美国药典VI类(USPVI类)标准进行测试,并符合要求。此外,指定产品Kalrez*符合FDA21CFR 1777.2600标准的要求。


使用杜邦组件在电子领域提供更高的性能"卡尔雷兹®
在电子领域,涂料受到影响性能的工艺条件的影响。几乎完全的耐化学性和高耐高温性使杜邦部件™“Kalrez@}几乎可以用于任何涉及高温的工艺应用,包括所有类型的血浆。
除了 的耐化学性和热稳定性外,杜邦
卡尔雷兹“超纯"“确保与反应性等离子体和清洗气体接触时减少污染,真空密封性能更好,脱气更少。此外,卡尔雷兹"超纯部件"“在无尘环境中制造,在100级工作站上特别清洁和双重包装。
Kalrez"组件确保在具有侵略性等离子体的应用中的长期可靠性,沉积作用,热处理应用和
潮湿的,无论是晶圆加工,制造光伏电池板或液晶显示设备的过程。
Kalrez组件可用作AS568标准0形圈,JIS和公制尺寸。此外,还提供粗片和特殊形状,用于焊接密封件或定制开发。
在电子领域进行实地实验
■使用高能氧等离子体焚烧炉生产超过50000个晶圆,无需更换喷嘴阀密封
在250°C的LPCVD氮化物管式炉中超过400个晶园(6个月)
在300”C的氮化物工艺中,与硅相比,密封件的使用寿命增加四倍,粘附性降低
■与其他全氟弹性体相比,在金属酸攻击过程中具有双耐久性
与130°C等离子焚烧炉门密封件中的硅胶相比,密封件的使用寿命增加10倍
在100°C湿化学泵应用中可提取的离子更少
用于液体显示器加工的酸接合装置的大型螺旋阀密封时间超过6个月
■在280°C扩散炉应用中的密封持续时间超过3个月
8个月的密封期(比竞争对手的自定义密封期高35%%6)为杜邦"卡尔雷兹三叶""在TEOS PE-CVD工艺中
■在等离子体焚化炉中使用Kalrez密封件实现双重使用寿命
■与竞争对手的全氟弹性体在等离子焚烧炉淋浴间中的密封寿命相比,密封寿命长8至14倍(超过3个月)
在PECVD闸阀应用中,与竞争对手的全氟弹性体相比,密封件的使用寿命长一倍
使用CIF3清洗气体在LPCVD中实现 性能(脱气并产生更小的颗粒)

杜邦组件"“Kalrez@在其他 应用环境中提供更好的性能
航空和航天工业
杜邦卡尔雷兹组件的耐高温性能使其成为航空航天应用的理想选择。卡尔雷兹"组件还能够抵御航空航天中使用的侵蚀性流体的接触,作为喷气燃料,发动机润滑油,液压流体,火箭推进剂和氧化剂。
石油和天然气
Kalrez”组件即使在钻并最恶劣的条件下也能正常工作,在高压和高温下,酸性气体和腐蚀性液体。导致膨胀的热量,腐蚀性液体和有毒气体会破坏其他材料的物理特性和密封性能。
在超过40年的现场经验中,应用于:30多年来,Kalrez组件在以下应用中表现出色:
·托管包装机
车载辅助发电机
为了满足工业界对能够承受更恶劣操作环境的材料的需求,已经开发出新一代的航空/航天工业材料。这些产品,杜邦公司"卡尔雷兹航空密封剂",提供出色的热稳定性和抗压缩性,保持良好的密封强度。
阀座,框架,密封件,用于包装机,申T型管,U型密封件,每列记录装置,定制形状
杜邦系统"Kalrez°值茎包装™风(KVSP)
定制解决方案-有限元分析(FEA)
有限元分析软件提供单源分析能力。从设计新的钢筋构造与同步分析到优化槽几何FEA提供 的灵活性,缩短产品开发时间,将创新解决方案推向市场。
快速交货
标准0型圈和库存部件可在48小时内交付,在提出请求和事先同意的情况下,在欧洲和北美的大多数目的地。欲了解更多信息,请联系销售代表和客户支持。
任何想要的形状
存在和可靠的分销商网络
卡尔雷兹组件。,可通过授权经销商的广泛网络迅速提供,提供技术支持,帮助您解决您的房地产问题。有关授权经销商的完整列表,请联系杜邦。
·标准0形环,尺寸为AS-568、Metric和JIS


光伏产品选择指南
硅片基电池制造工艺
表面处理/清洁
卡尔雷兹W230
兴奋剂卡尔雷兹PV8070
工艺类型
锯片损伤去除表面处理和清洁
N-兴奋剂
边缘隔离
P 硅酸盐去除
ARC涂层
其他工艺类型
多晶硅原料生产西门子技术
消减系统(“湿”洗涤器)
边缘隔离
Kalrez®W23019100
P 硅酸盐去除 Kalrez°
W230
ARC涂层Kalrezw230/9100
典型工艺环境
HF,稍酸,80°C浓统NaOH,KOH,IPA,HCI,热水
850-900°C,氧化物喷射,原位氟酒洗
CF/02等离子体刻蚀
NaOH、KOH、HF、HNOHCI等SiH4,NHa,02等离子体PECVD或反应溅射,原位NF3等离子清洗
典型工艺环境
TCS CVD沉积1100°C,SiHCI,HCI,赫兹
强酸/碱
金属化
建议的杜邦产品
Kalrezo W230
Kalrez® P8070
Kalrez® W230/9100*
Kalrez® W230
Kalrez® W2309100
建议的杜邦产品
Kalreze W230PV8070
餷週婎觫敲鬚柘ぱ征lrezo W230
测试分院

薄膜电池制造工艺
返回联系方式
模式化激光雕刻
工艺类型
细胞层沉积/吸收器
Amorphous/Micro-CrystallineSilicon
CIS/CIGS。扩散
。Cds缓冲沉积
oCu(In,GA)溅射
·碲化镉
o单侧激活
o镉蚀刻
oCds缓冲区沉积
TCO沉积/前接触
细胞层沉积
产品见下文
图案化激光书写
TCO沉积见下文关于产品。
典型工艺环境
SiH4,Hz,等离子体PECVD,远程NF3等离子清洗
500-550”C,氢硒,H2S扩散65°C溶于NH40H中的Cd和S盐400-600℃,真空
400°C,CdClz溶于甲醇,浓H3PO4,硝酸65°C,镉和硫盐溶于NHOHZn0反应溅射二乙基锌(DEZ)MOCVD
图案化激光书写
铛凝措试分院
建议的杜邦产品
Kalrez8 W2309100*
Kalrezs W230PV8070*
Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrezs W230VPV8070*
请联系Kalrez应用工程师,以获取此应用中 的产品

杜邦Kalrez@W230光伏产品的推荐产品Kalrez°W230 全氟弹性体部件是一种黑色产品,适用于需要广泛化学耐性的 PV 湿法和选择性湿法制造工艺。W230提供了极好的性能组合(耐酸/碱),是PV湿法工艺的升级选择,作为标准弹性体的替代品。建议 连续使用温度为 230°C。杜邦™卡雷兹Kalrez°PV8070全氟弹性体部件是黑色产品,适用于需要高温抗性的PV电池制造过程。它表现出优异的耐热稳定性,并具有优良的(低)压缩变形和脱气性能。它还具有良好的抗氯气和氟气以及其他干法工艺化学品的性能。KalrezPV8070具有优异的机械强度性能,非常适合静态和动态密封应用。建议的 连续使用温度为325°C。短期游览高温地区也是可能的。
杜邦公司:卡尔雷兹9100Kalrez°9100全氟弹性体部件是一种琥珀色半透明产品,用于边缘隔离、ARC涂层和要求耐氟等离子体的光伏电池制造工艺,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀积。在基于氟的等离子体(如 NF3、F2)中,它表现出极低的重量损失和超低的粒子生成。它还具有优异的耐干法化学性,并具有优异的热稳定性、压缩设定和排气性能。Kalrez°9100具有良好的机械强度特性,非常适合静态和动态密封应用。建议的 连续使用温度为300°C。

杜邦公司™卡莱兹全氟橡胶零件
半导体工业中的等离子体过程
杜邦"Kalrez*全氟弹性体部件已在高度腐蚀性密封环境中成功使用超过40年。Kalrez*部件具有优异的化学和热稳定性并经过特别配方和加工,以满足晶圆处理环境的独特要求。杜邦Kalrez密封件提供标准尺寸和定制尺寸的0形环,以及满足等离子体环境中品圆处理严格要求的可定制形状。在半导体行业使用的所有Kalrez°}产品都采用专有超净工艺和洁净室处理作为标准。
等离子体过程的产品选择
下表为根据生产工艺类型选择 Kalrez%要件提供了一个快速简便的工具:
工艺类型
HDPCVD
PECVD /PEALD
PECVD固化工艺
SACVD /FCVD
导体(聚合物/金属)蚀刻
介电(氧化物)蚀刻
灰烬/碎屑
使用温庶
250°C至300°C
275°C至310°C
150°C至200°C
280°C至300°C
150°C至225°C
100℃C至180°C
180°C至250°C
典型化学品
TMS,DEMS,TEOS,SiH,,NH,SiF4,0,,N,O,CF,NF
TMS,DEMS,TEOS,SiH,
NH,SiF,O,N,O,CF.NF
05+紫外线
TEP,TEBO,TEOS,O,NF,NH,
CF4,CHF,,HBr,BCL,CCLZ,CL
NF
CF ,CF CHF SF .O..H
O,,CF,CHF,NH,,水
蒸汽,H“形成气体
建议产品
Kalrez”9100/9500
Kalrez*9600
Kalrez*87052
Kalrez°9500
Kalrez”9500/9600
Kalrez*9100/9300
卡尔雷兹9300
Kalrez*9300/8002


当前Kalrez@产品适用于等离子体应用
卡尔雷兹9600Kalrez°9600 部件专为高纯度、高温真空应用而设计,在这些应用中,密封件会暴露在具有破坏性的氟和氧等离子体自由基中。它具有极低的等离子体攻击侵蚀率和重量损失,对氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化学抗性。它在压缩时的 弹性和在高温条件下的超低出气率使其特别适用于纯度至关重要的应用,如等离子体增强原子层沉积和化学气相沉积工党
Kalrez*9500Kalrez® 9500 部件专门针对使用臭氧、氨和水蒸气进行加工的沉积工艺而设计,例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工艺等。它专门设计用于等离子体环境更“化学”的应用,即氧和氟原子基更占优势的应用。Kalrez°9500还具有出色的热稳定性、极低的气体逸出和优异的机械强度,非常适合静态和动态密封应用。
卡尔雷兹”9300
Kalrez@9300 部件专为介电(氧化物)蚀刻应用而设计。它特别设计用于等离子体环境为离子(“物理”)和自由基(“化学”)组合的应用,即通常需要平衡“物理”和“化学等离子体耐蚀性的应用。Kalreze9300 表现出对氧和氟基等离子体和蚀刻工艺化学的出色耐性。它还具有非常低的金属含量、优异的热稳定性和机械强度,非常适合静态和动态密封应用。
卡尔雷兹”9100Kalrez®9100部件专门针对 PECVD、ALD、HDPCVD 和导体(聚/金属)蚀刻应用而设计Kalrez®9100 专门设计用于恶劣等离子体环境中的低磨损和超低粒子生成。它提供优异的耐热稳定性、非常低的气体逸出以及优异的弹性恢复和良好的机械强度特性,非常适合静态和“选择”动态密封应用。
卡尔雷兹”8002Kalrez°8002部件是用于灰/带应用的透明产品。与矿物填充产品相比,这种未填充的产品在氧气和氟化物基等离子体中具有优异的抗等离子体开裂性能和极低的粒子生成。Kalrez8002表现出优异的干法化学抗性,具有良好的机械强度,非常适合静态、低应力/低密封力以及“选择”粘合门密封应用。
卡尔雷兹*8705Kalrez®8705 全氟弹性体部件主要设计用于常规光源或等离子体发出的高能紫外线(UV)辐射的直接路径中的密封位置。它们还具有良好的抗高浓度破坏性自由基的能力,以及在高温真空应用中的 密封功能。它们极低的粘附力使其成为密封石英表面的理想选择,如紫外线固化室中的石英窗和光致抗蚀剂带设备中的石英管,不会留下不想要的残留物。


杜邦公司”卡尔雷兹
半导体硅片加工用弹性密封件的泄气特性
技术文献-在AVS研讨会上的论文,2009年11月
大多数集成电路制造工艺都在高真空或超高真空规定的范围内对于确保 工艺效率、均匀性和一真空泵是维持足够真空水平以进行加工的主要机制方面可以发挥作用。更重要的是控制腔室内工艺环通常可以补偿由于密封放气引起的真空水平变化成分的潜在有害变化。由于放气引起的腔内分压变云压过程中的质量问题。
一般来说,人们普遍认为弹性体比金属更容易逸出气体。在许多超高真空系统中,使用金属密封件来避免这个问题。然而,金属密封件并不总是有效和/或实用。使用金属密封件的一些困难包括:
安装困难
昂贵
Non-reusable
动态应用中的密封性能较差
石英和陶瓷密封应用中部件损坏的可能性
因此,真空系统设计师和工艺工程师了解弹性密封件的脱气特性非常重要。目前,没有行业标准来测量和表征弹性密封件的脱气性能,可用的有用数据有限。
本研究通过杜邦开发的一种测试方法,评估和比较了三种不同类别的弹性密封材料在半导体工艺环境中的析气特性。表1列出了评估的产品/材料。