Entegris, Inc. 是一家材料供应商 半导体 和其他高科技产业。Entegris在其 运营中拥有约7,700名员工。它在美国拥有制造、客户服务和/或研究设施, 加拿大, 中国, 德国, 以色列, 日本, 马来西亚, 新加坡, 韩国,并且 Taiwan.公司总部设在 比莱里卡,马萨诸塞州.

该公司希望通过改善几个关键工艺的污染控制来帮助制造商提高产量,包括 光刻法, 湿法蚀刻 和干净, 化学机械平面化, 薄膜沉积、批量化学处理、晶圆和标线处理和运输、以及测试、组装和包装。公司约80%的产品用于半导体行业。


产品
Entegris产品包括:净化工艺气体和流体以及周围环境的过滤产品;分配、控制或运输工艺流体的液体系统和组件;高性能材料和特种气体管理解决方案;保护半导体的晶圆载体和运输箱 晶片 免受污染和破损;以及专用石墨、碳化硅和涂层。

历史发展
该公司成立于1999年,由1966年开始运营的Fluoroware,Inc.和EMPAK,Inc.合并而成。该公司于2000年上市。

2005年8月,Entegris与Mykrolis Corporation合并,Mykrolis Corporation是一家半导体行业的过滤产品供应商。Mykrolis是由 密理博公司 在2000年。

In August 2008, Entegris acquired Poco Graphite, Inc., a 迪凯特 半导体、EDM、玻璃装瓶、生物医学、航空航天和替代能源应用中使用的专用石墨和碳化硅产品供应商。

2014年4月30日,Entegris收购 丹伯里ATMI是一家为半导体行业提供关键材料和材料处理解决方案的上市公司,总部设在美国的ATMI,以11亿美元的交易完成。

2020年12月,Entegris宣布 投资5亿美元,在台湾建造一座 进的设施。该项目预计将在三年内在高雄科学园完成。

2022年7月,Entegris以57亿美元收购了另一家美国半导体化学品公司CMC Materials Inc。此次收购的前身为Cabot Microelectronics Corp,拥有2200名员工。


产品和解决方案包括:
净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品
分配、控制、分析或运输工艺流体的液体系统和组件
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于高级节点沉积和清洁的专用化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和运输箱
提供高纯度表面的特种涂层,可实现耐磨、防腐和光滑
适用于高性能应用的 石墨和碳化硅
用于保护和运输磁盘驱动器组件的运输箱和托盘


石墨
石墨(Graphite),又名黑铅,是碳的一种同素异形体,相对密度为 2.256 g/cm3。石墨不透明且触感油腻,颜色由铁黑到钢铁灰不等,形状可呈晶体状、薄片状、鳞状、条纹状、层状体。石墨的硬度低,化学性质稳定,同酸、碱等药剂不易发生反应,耐高温、抗腐蚀、抗热震、抗辐射、强度大、韧性好、还具有自润滑及导电、导热等物化性能,广泛应用于冶金、机械、电子、 、国防、航天航空等领域。大鳞片石墨具有更加优异的润滑、耐磨、导电导热和抗渗透性能,在高端润滑、密封及大型集成电路领域发挥关键作用。石墨可从石墨矿藏中提取,也可以以石油焦、沥青焦等为原料,经过一系列工序处理而制成。石墨可用作抗磨剂、润滑剂,高纯度石墨还被用作原子反应堆中的中子减速剂,此外该类材料还可用于制造坩埚、电极、电刷、干电池、石墨纤维、换热器、冷却器、电弧炉、弧光灯、铅笔的笔芯等。


简介
名称来源石墨(graphite)一词来源于希腊语中“graphein(记述、描述)“,是由于石墨为典型的层状结构,其层间结合为弱的分子间作用力(范德华引力),很容易互相剥离,形成薄薄的石墨片,当把石墨片剥成单层之后,这种只有一个碳原子厚度的单层就是石墨烯,这就为以石墨为原材料制备石墨烯创造了有利条件。


理化性质
石墨质软,为黑灰色,有油腻感,可污染纸张。硬度为1~2,沿垂直方向随杂质的增加其硬度可增至3~5。比重为1.9~2.3。比表面积范围集中在1-20 m2/g,在隔绝氧气条件下,其熔点在3000 ℃以上,是最耐温的矿物之一。由于每个碳原子均会放出一个电子,那些电子能够自由移动,因此石墨属于导电体。此外,它还能导热。自然界中纯净的石墨是没有的,其中往往含有SiO2、Al2O3、FeO、CaO、P2O5、CuO等杂质。这些杂质常以石英、黄铁矿、碳酸盐等矿物形式出现。此外,还有水、沥青、CO2、H2、CH4、N2等气体部分。因此对石墨的分析,除测定固定碳含量外,还必须同时测定挥发分和灰分的含量。值得注意的是,石墨晶体结构中沿不同的晶体学方向,力学性能和某些物理性质呈现出量值上的差异,这一性质称为晶体的各向异性。例如,与晶体层平行的方向电阻率为(2.5~5.0)×10-6Ω·m,与层垂直的方向电阻率为3×10-3Ω·m。 [18] 石墨单晶和石墨微晶都是各向异性的。由石墨微晶组成的多晶体炭素材料不一定是各向异性的。具有石墨微晶面取向或轴取向织构的炭素材料是各向异性的。具有石墨微晶点取向或无序取向织构的炭素材料是各向同性的。
特殊性质
石墨由于其特殊结构,而具有如下独特性质:(1)耐高温性石墨的熔点为3850±50 ℃,即使经超高温电弧灼烧,重量的损失很小,热膨胀系数也很小。石墨强度随温度提高而加强,在2000 ℃时,石墨强度提高一倍。
(2)导电、导热性石墨的导电性比一般非金属矿高一百倍。导热性超过钢、铁、铅等金属材料。导热系数随温度升高而降低,甚至在极高的温度下,石墨成绝热体。石墨能够导电是因为石墨中每个碳原子与其他碳原子只形成3个共价键,每个碳原子仍然保留1个自由电子来传输电荷。石墨
(3)润滑性石墨的润滑性能取决于石墨鳞片的大小,鳞片越大,摩擦系数越小,润滑性能越好。
(4)化学稳定性石墨在常温下有良好的化学稳定性,能耐酸、耐碱和耐有机溶剂的腐蚀。
(5)可塑性石墨的韧性好,可碾成很薄的薄片。
(6)抗热震性石墨在常温下使用时能经受住温度的剧烈变化而不致破坏,温度突变时,石墨的体积变化不大,不会产生裂纹。

其他
石墨与金刚石、碳60、碳纳米管、石墨烯等都是碳元素的单质,它们互为同素异形体。 石墨是一种非金属矿物,广泛应用于电子、电器、国防、 、航空航天等领域,如电池、中子还原、人造卫星上的导电结构材料、超级电容器,是21世纪战略性新兴矿产资源。按照结晶粒度划分,天然石墨可分为鳞片石墨、隐晶石墨和块状石墨,其中,鳞片石墨较块状石墨和隐晶石墨应用更为广泛。中国主要侧重于大鳞片石墨矿的开发。值得注意的是,随着大鳞片石墨矿的不断开采和利用,细鳞片石墨矿将会成为未来主要的利用资源。因此,应该注重细鳞片石墨矿的开发与利用,提高石墨资源的利用率。
石墨又可分为天然石墨和人造石墨两大类,天然石墨来自石墨矿藏,天然石墨还可分成鳞片石墨、土状石墨及块状石墨。鳞片石墨是天然晶质石墨,其形似鱼磷状,属六方晶系,呈层状结构,具有良好的耐高温、导电、导热、润滑、可塑及耐酸碱等性能,可应用于制造电刷、石墨电极、石墨坩埚等石墨质产品。土状石墨又称为微晶石墨或隐晶石墨,它的使用价值不及鳞片石墨,价格较低,但其机械强度比鳞片石墨高,在制造电极、炭块、冶金和电池负极方面有较大的发展。 [21]细鳞片石墨矿中通常只含有15%~25%的大鳞片石墨。 [20]天然开采得到的石墨含杂质较多,因而需要选矿,降低其杂质含量后才能使用,天然石墨的主要用途是生产耐火材料、电刷、柔性石墨制品、润滑剂、锂离子电池负极材料等,生产部分炭素制品有时也加入一定数量的天然石墨。 [2]
人造石墨是现代炭素工业的新产物,其原料来源广泛,造成生产出来的人造石墨晶 体的聚集状态是不规则的,是一种相对紊乱堆积的多晶石墨,其具有优良的电学、热学和化学稳定性,适于生产人造石墨电极等各种人造石墨功能性材料产品。 [21]炭质炭素制品,以无烟煤和冶金焦为原料,焙烧后不必石墨化,其热导率较低而电阻率较高,没用润滑性,机械强度也很高。石墨质炭素制品则是以易石墨化的石油焦或沥青焦为原料,产品在焙烧后必须经过石墨化高位处理,其热导率高,电阻率低,灰分很低,良好的润滑性,但机械强度下降。炭素材料具有导热性好、膨胀系数低、化学性能稳定、耐腐蚀耐磨损性能良好等优势,在太阳能储热领域具有重要的应用价值。
广义上看,炭素材料应该包括金刚石、石墨、无定形碳、富勒碳及纳米碳五种碳原子的同素异形体所形成的各类材料。从晶体结构上讲,通常所说的炭素材料都是以石墨微晶为基础构成的,不过在各类炭素材料中,微晶的尺寸和微晶的三围排列的有序程度有相当大的差别。从材料的组成上看,生产炭素材料制品所采用的半石墨化原料或加入部分天然石墨或石墨碎,因而各石墨材料的理化性质(如导电导热性、润滑性、耐化学腐蚀性等)也差异很大。因此将炭素制品按理化性区分为炭质、石墨质和半石墨质 3 类。
人造石墨的种类也很多,如单晶石墨、多晶石墨、热解石墨、高定向热解石墨、聚酰亚胺合成的石墨、石墨纤维等,多数人造石墨制品属于多晶石墨一类。人造石墨中的主要产品是电弧炼钢炉及矿热电炉使用的石墨电极,石墨电极是一种耐高温、耐腐蚀的导电材料。人造石墨在其他许多工业部门也有广泛的用途,如机械工业中电机用电刷、精密铸造模具、电火花加工的模具及耐磨部件,化学工业中的电解槽使用的导电体或耐腐蚀器材,高纯度及高强度人造石墨是核工业部门的反应堆结构材料和用作导弹火箭的部件等。
石墨还可制取散热材料、密封材料、隔热材料、和防辐射材料等,石墨功能材料广泛应用于冶金、化工、机械设备、新能源汽车、核电、电子信息、航空航天和国防等行业。欧盟委员会发布的《对欧盟生死攸关的原料》报告中,将石墨列入14 种紧缺矿产原料。


应用
石墨可用于生产耐火材料、导电材料、耐磨材料、润滑剂、耐高温密封材料、耐腐蚀材料、隔热材料、吸附材料、摩擦材料和防辐射材料等,这些材料广泛应用于冶金、石油化工、机械工业、电子产业、核工业和国防等。
耐火材料
在钢铁工业,石墨耐火材料用于电弧高炉和氧气转炉的耐火炉衬、钢水包耐火衬等; 石墨耐火材料主要是整体浇铸材料、镁碳砖和铝石墨耐火材料。石墨还用于粉末冶金和金属铸造成膜材料,石墨粉加入到钢水中增加钢的碳含量,使高碳钢具有许多优异性能。
导电材料
在电气工业上用作制造电极、电刷、碳棒、碳管、水银正流器的正极,石墨垫圈、电话零件,电视机显像管的涂层等。
耐磨润滑材料
石墨在机械工业中常作为润滑剂。润滑油往往不能在高速、高温、高压的条件下使用,而石墨耐磨材料可以在200~2000 ℃温度中在很高的滑动速度下,不用润滑油工作。许多输送腐蚀介质的设备,广泛采用石墨材料制成活塞杯,密封圈和轴承,它们运转时勿需加入润滑油。石墨乳也是许多金属加工(拔丝、拉管)时的良好的润滑剂。
耐腐蚀材料
经过特殊加工的石墨,具有耐腐蚀、导热性好,渗透率低等特点,就大量用于制作热交换器,反应槽、凝缩器、燃烧塔、吸收塔、冷却器、加热器、过滤器、泵设备。广泛应用于石油化工、湿法冶金、酸碱生产、合成纤维、造纸等工业部门,可节省大量的金属材料。
高温冶金材料
由于石墨的热膨胀系数小,而且能耐急冷急热的变化,可作为玻璃器的铸模,使用石墨后黑色金属得到铸件尺寸 ,表面光洁成品率高,不经加工或稍作加工就可使用,因而节省了大量金属。生产硬质合金等粉末冶金工艺,通常用石墨材料制成压模和烧结用的瓷舟。单晶硅的晶体生长坩埚,区域精炼容器,支架夹具,感应加热器等都是用高纯石墨加工而成的。此外石墨还可作真空冶炼的石墨隔热板和底座,高温电阻炉炉管等元件。
原子能与国防工业
石墨具有良好的中子减速剂用于原子反应堆中,铀-石墨反应堆是目前应用较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速材料应当具有高熔点,稳定,耐腐蚀的性能,石墨完全可以满足上述要求。作为原子反应堆用的石墨纯度要求很高,杂质含量不应超过几十个ppm 。特别是其中硼含量应少于0.5 ppm。在国防工业中还用石墨制造固体燃料火箭的喷嘴,导弹的鼻锥,宇宙航行设备的零件,隔热材料和防射线材料。
(1) 石墨还能防止锅炉结垢,有关单位试验表明,在水中加入一定量的石墨粉(每吨水大约用4~5克)能防止锅炉表面结垢。此外石墨涂在金属烟囱、屋顶、桥梁、管道上可以防腐防锈。
(2) 石墨逐渐取代铜成为EDM电极的 材料。
(34) 石墨深加工产品填加到塑料产品和橡胶产品中,可使塑料制品和橡胶制品不产生静电,许多工业产品需要具有防静电和屏蔽电磁辐射功能,石墨产品兼有这两项功能,石墨在塑料制品、橡胶制品及其它相关工业产品中的应用也会增加。

此外,石墨还是轻工业中玻璃和造纸的磨光剂和防锈剂,是制造铅笔、墨汁、黑漆、油墨和人造金刚石、钻石不可缺少的原料。它是一种很好的节能环保材料,美国已用它做为汽车电池。随着现代科学技术和工业的发展,石墨的应用领域还在不断拓宽,已成为高科技领域中新型复合材料的重要原料,在国民经济中具有重要的作用。

材料

GLASSMATE® 系列材料专为热玻璃接触应用而开发。GLASSMATE 材料具有耐热性、强度、耐久性和不吸水特性，即使在最严苛的条件下也能保持性能，且不会损坏玻璃器皿。我们的热玻璃处理材料性能 ，同时减少了机械损伤，从而提高了包装效率。

制造

— 我们所有的 GLASSMATE 材料和成品均在北德克萨斯州的制造工厂生产。

精密加工单元可根据客户规格或行业标准表面处理生产成品。

我们经验丰富的设计 协助客户找到 其特定应用的解决方案。

我们的质量体系已通过 ISO 9001 和 AS9100 认证。

GLASSMATE 等级

— GLASSMATE 石墨是一种高强度、各向同性材料，具有均匀的微观结构。我们生产一系列专为玻璃生产线特定应用而设计的石墨等级。

GM 石墨

GLASSMATE-GM 等级是一种 5 微米厚的材料，具有 的强度和耐久性，适用于高磨损应用。它是精密螺纹拾取和长批量生产的理想材料。

SR 石墨

GLASSMATE-SR 等级是一种经济实惠的 10 微米厚材料，适用于小批量生产。它具有良好的强度、耐热性和耐久性。

HT 石墨

GLASSMATE-HT 等级是一种高强度 5 微米厚的材料，添加了抗氧化剂，提高了氧化阈值。使用温度可高达 600°C (1112°F)。

LT 石墨

GLASSMATE-LT 等级是一种 5 微米厚的材料，其强度高于 GM 等级。它是高磨损应用的理想选择。

CXTX 石墨

CXTX 级石墨是一种经济高效的材料，非常适合用于退火堆垛机的垫片，尤其适用于对硬度或强度要求不高的场合。

特殊零件

— 我们为特定的 IS 机器和客户应用定制各种特殊零件。许多零件的设计旨在消除水冷并提高机器速度。

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GLASSMATE 石墨材料

机器维修零件目录 | Entegris 公司

死板组件

— 死板组件消除了死板区域的玻璃与金属接触，有助于防止底部裂纹。

GLASSMATE 死板组件结合了金属支撑板的强度和 GLASSMATE 石墨的容器兼容表面。匹配的气孔可实现均匀的气流，从而提供均匀的玻璃冷却和更顺畅的容器转移。组件经过定制设计和工程改造，以适配您的机器，并且易于安装。某些组件设计允许死板反转，从而延长使用寿命。

由于配置种类繁多，GLASSMATE 死板和配套支撑板需要单独报价。以下展示了两个死板组件示例。

模顶嵌件

— 模顶嵌件采用 GLASSMATE-HT 石墨制成，这是一种独特的高强度 5 微米石墨，并浸渍了抗氧化剂。浸渍提高了氧化阈值，使其能够承受玻璃瓶制造过程中的高温。

GLASSMATE-HT 石墨具有低导热性，可 限度地减少脱模过程中的热裂纹和机械裂纹，这与金属嵌件不同，金属嵌件较高的导热性和热膨胀性经常会导致瓶子损坏。在清洗模具之前取出嵌件的能力，使得嵌件可以重复用于多次生产。这些嵌件带有金属保护板，以增强抗损性。

我们可以根据客户的设备定制嵌件。

5 毫米

5 毫米

?8 毫米 264 毫米

197 毫米

?8 毫米

349 毫米

305 毫米

(12 英寸)

184 毫米

109 毫米

160 毫米

156 毫米 203 毫米

8 英寸

171 毫米 178 毫米

7 英寸

嵌件 嵌件

支撑板 支撑板
GLASSMATE 石墨材料
清扫组件

— 我们加长的清扫组件专为与较高的玻璃容器配合使用而设计。可逆式清扫刀片

内衬耐用的 GLASSMATE-GM 石墨，
并提供多种尺寸，
以及直刃和弯刃两种配置，以满足您
独特的应用需求。

清扫组件 DE-32604

此组件适用于 8 ? 三联料滴机。每个口袋的形状都可容纳 12 盎司啤酒瓶（直径 61.9 毫米或 2.437 英寸），仅供参考。

扫出式替换零件
适用
Triple
Triple
Triple
Triple
Triple
描述
背板
口袋组件
肩螺栓 – ?” × 1” × 10-32
六角膨胀锁紧螺母 – 10-32 × ?”
环形卡扣快拆销
销 – ?”

扫出式维修套件
指垫维修套件 DE-38092

外侧指垫
DE-37623

#6-32 ×

圆头螺钉
91255A146

铝制支架
DE-36971

内侧指垫
DE-37622

套件包含
描述
内侧指垫
外侧指垫
合金钢圆头螺钉
有头螺钉 – 6-32 × 3/8"
部分
DE-27665
DE-36970A
DE-97818542
DE-97794230
DE-178981
31

数量
1 件

1 件

2 件

243.8 毫米

(9.60 英寸)

94.4 毫米

(3.875 英寸)

94.4 毫米

(3.875 英寸)

12 盎司啤酒瓶

背垫维修套件 DE-38093

#6-32 ×

圆头螺钉
91255A145

铝制支架
DE-36971

背垫 DE-37624

0.384 英寸

套件包含

3 个 ?2.312 英寸

最小
瓶
直径

3 个 ?2.750 英寸


瓶
直径

描述
数量
背垫

1 件

合金钢圆头内六角螺钉 – 6-32 × 5/16 英寸

2 件

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GLASSMATE 石墨材料

转印垫

— 我们的转印轮垫和指状物采用 GLASSMATE-GM 石墨制成，具有 的强度和

耐用性。GM 石墨非常适合高磨损应用。

转印垫和指状物有 3 英寸或 6 英寸两种长度可选，

适用于燕尾槽或 T 型槽支架。

适用
燕尾槽
燕尾槽
燕尾槽
燕尾槽
T 型槽
T 型槽
T 型槽
描述
3 英寸 GM 转印轮

背垫
6 英寸 GM 转印轮

背垫
3 英寸 GM 转印轮

指状物
6 英寸 GM 转印轮

指状物
零件号
DE-29190

特殊订单
DE-29191

特殊订单
3 英寸 GM 转印轮

轮背垫
6 英寸 GM 转印轮

轮背垫
3 英寸 GM 转印轮
指形

T型槽

瓶子导向装置

— 6英寸 GM 输送轮指形装置

特殊订单

DE-26877

特殊订单

特殊订单

V型间隔导向装置旨在可靠地对齐瓶子，

当瓶子进入四联机双皮带退火炉入口系统时。

分体式V型导向装置适用于单输送机、多滴料机。

垫片可调节，

易于安装。

V型间隔装置和分体式V型导向装置均为特殊订单产品，
需要额外的生产时间。两者均提供12英寸和18英寸两种长度。

请联系Entegris
了解更多信息。

分体式V型导向装置

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GLASSMATE石墨材料

退火炉堆垛杆组件

— 我们提供完整的退火炉堆垛杆，以满足

您在开放式、半封闭式退火炉中的所有容器处理需求。或用于封闭式退火炉。

互锁垫的凹槽设计，加上钢制安装槽，
打造出抗变形且极其耐用的横杆。

可提供加工好的堆垛垫，以适配您当前的
堆垛横杆配置。