Entegris, Inc. 是一家材料供应商 半导体 和其他高科技产业。Entegris在其 运营中拥有约7,700名员工。它在美国拥有制造、客户服务和/或研究设施, 加拿大, 中国, 德国, 以色列, 日本, 马来西亚, 新加坡, 韩国,并且 Taiwan.公司总部设在 比莱里卡,马萨诸塞州.

该公司希望通过改善几个关键工艺的污染控制来帮助制造商提高产量,包括 光刻法, 湿法蚀刻 和干净, 化学机械平面化, 薄膜沉积、批量化学处理、晶圆和标线处理和运输、以及测试、组装和包装。公司约80%的产品用于半导体行业。


产品
Entegris产品包括:净化工艺气体和流体以及周围环境的过滤产品;分配、控制或运输工艺流体的液体系统和组件;高性能材料和特种气体管理解决方案;保护半导体的晶圆载体和运输箱 晶片 免受污染和破损;以及专用石墨、碳化硅和涂层。

历史发展
该公司成立于1999年,由1966年开始运营的Fluoroware,Inc.和EMPAK,Inc.合并而成。该公司于2000年上市。

2005年8月,Entegris与Mykrolis Corporation合并,Mykrolis Corporation是一家半导体行业的过滤产品供应商。Mykrolis是由 密理博公司 在2000年。

In August 2008, Entegris acquired Poco Graphite, Inc., a 迪凯特 半导体、EDM、玻璃装瓶、生物医学、航空航天和替代能源应用中使用的专用石墨和碳化硅产品供应商。

2014年4月30日,Entegris收购 丹伯里ATMI是一家为半导体行业提供关键材料和材料处理解决方案的上市公司,总部设在美国的ATMI,以11亿美元的交易完成。

2020年12月,Entegris宣布 投资5亿美元,在台湾建造一座 进的设施。该项目预计将在三年内在高雄科学园完成。

2022年7月,Entegris以57亿美元收购了另一家美国半导体化学品公司CMC Materials Inc。此次收购的前身为Cabot Microelectronics Corp,拥有2200名员工。


产品和解决方案包括:
净化气体、流体和周围工厂环境的过滤产品
分配、控制、分析或运输工艺流体的液体系统和组件
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于高级节点沉积和清洁的专用化学品

保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和运输箱
提供高纯度表面的特种涂层,可实现耐磨、防腐和光滑
适用于高性能应用的 石墨和碳化硅
用于保护和运输磁盘驱动器组件的运输箱和托盘


石墨
石墨(Graphite),又名黑铅,是碳的一种同素异形体,相对密度为 2.256 g/cm3。石墨不透明且触感油腻,颜色由铁黑到钢铁灰不等,形状可呈晶体状、薄片状、鳞状、条纹状、层状体。石墨的硬度低,化学性质稳定,同酸、碱等药剂不易发生反应,耐高温、抗腐蚀、抗热震、抗辐射、强度大、韧性好、还具有自润滑及导电、导热等物化性能,广泛应用于冶金、机械、电子、 、国防、航天航空等领域。大鳞片石墨具有更加优异的润滑、耐磨、导电导热和抗渗透性能,在高端润滑、密封及大型集成电路领域发挥关键作用。石墨可从石墨矿藏中提取,也可以以石油焦、沥青焦等为原料,经过一系列工序处理而制成。石墨可用作抗磨剂、润滑剂,高纯度石墨还被用作原子反应堆中的中子减速剂,此外该类材料还可用于制造坩埚、电极、电刷、干电池、石墨纤维、换热器、冷却器、电弧炉、弧光灯、铅笔的笔芯等。


简介
名称来源石墨(graphite)一词来源于希腊语中“graphein(记述、描述)“,是由于石墨为典型的层状结构,其层间结合为弱的分子间作用力(范德华引力),很容易互相剥离,形成薄薄的石墨片,当把石墨片剥成单层之后,这种只有一个碳原子厚度的单层就是石墨烯,这就为以石墨为原材料制备石墨烯创造了有利条件。

结构组成
英国贝纳尔(J.D.Bernal)用 X 射线衍射法研究了石墨的结构。他于1924年提出理想石墨的结构,又称贝纳尔结构。碳原子六角网格 层对 层错开六角形对角线的 2/1 而平行叠合,第三层与 层位置重复,成 ABABA.......的序列。在石墨中,碳网层面的这种有规则的叠合方式,层面之间的相互关系,常称为石墨关系。从 层到第三层的 A-A 距离为石墨晶胞的 c向距离,常记为 c0。在常温下,c 0 =0.6708 nm,层间 A-B 的距离为 0.3354 nm 层面上按碳原子点阵划出许多互相连接的等边六边形,其边长为 0.1421nm。
石墨属六方晶系构造,是原子晶体、金属晶体和分子晶体之间的一种过渡型晶体。在晶体中同层碳原子间以sp2杂化形成共价键,每个碳原子与另外三个碳原子相连,六个碳原子在同一平面上形成正六边形的环,伸展形成片层结构,即在碳原子面上以SP2杂化轨道电子形成的共价键及Pz轨道电子形成的金属键相连。 在同一平面的碳原子还各剩下一个p轨道,它们互相重叠,形成离域π键电子在晶格中能自由移动,可以被激发,所以石墨有金属光泽,能导电、传热。由于层与层间距离大,结合力(范德华力)小,各层可以滑动,所以石墨的密度比金刚石小,质软并有滑腻感。 碳原子平面间,其结合是弱的范德瓦尔键(键能17.7 kJ/mol),这种片层结构的特点决定了石墨的一系列特性,同时也为其他物质插入碳原子平面间,从而形成了一类新材料的可能性。
石墨每一网层间的距离为3.35 ?,每层间有微弱的范德华力,同一网层中碳原子的间距为1.42 ?,由于同一平面层上的碳原子间结合很强,极难破坏,所以石墨的熔点也很高,化学性质也稳定。鉴于它的特殊的成键方式,不能单一的认为是单晶体或者是多晶体,普遍认为石墨是一种混合晶体。

理化性质
石墨质软,为黑灰色,有油腻感,可污染纸张。硬度为1~2,沿垂直方向随杂质的增加其硬度可增至3~5。比重为1.9~2.3。比表面积范围集中在1-20 m2/g,在隔绝氧气条件下,其熔点在3000 ℃以上,是最耐温的矿物之一。由于每个碳原子均会放出一个电子,那些电子能够自由移动,因此石墨属于导电体。此外,它还能导热。自然界中纯净的石墨是没有的,其中往往含有SiO2、Al2O3、FeO、CaO、P2O5、CuO等杂质。这些杂质常以石英、黄铁矿、碳酸盐等矿物形式出现。此外,还有水、沥青、CO2、H2、CH4、N2等气体部分。因此对石墨的分析,除测定固定碳含量外,还必须同时测定挥发分和灰分的含量。值得注意的是,石墨晶体结构中沿不同的晶体学方向,力学性能和某些物理性质呈现出量值上的差异,这一性质称为晶体的各向异性。例如,与晶体层平行的方向电阻率为(2.5~5.0)×10-6Ω·m,与层垂直的方向电阻率为3×10-3Ω·m。 [18] 石墨单晶和石墨微晶都是各向异性的。由石墨微晶组成的多晶体炭素材料不一定是各向异性的。具有石墨微晶面取向或轴取向织构的炭素材料是各向异性的。具有石墨微晶点取向或无序取向织构的炭素材料是各向同性的。
特殊性质
石墨由于其特殊结构,而具有如下独特性质:(1)耐高温性石墨的熔点为3850±50 ℃,即使经超高温电弧灼烧,重量的损失很小,热膨胀系数也很小。石墨强度随温度提高而加强,在2000 ℃时,石墨强度提高一倍。
(2)导电、导热性石墨的导电性比一般非金属矿高一百倍。导热性超过钢、铁、铅等金属材料。导热系数随温度升高而降低,甚至在极高的温度下,石墨成绝热体。石墨能够导电是因为石墨中每个碳原子与其他碳原子只形成3个共价键,每个碳原子仍然保留1个自由电子来传输电荷。石墨
(3)润滑性石墨的润滑性能取决于石墨鳞片的大小,鳞片越大,摩擦系数越小,润滑性能越好。
(4)化学稳定性石墨在常温下有良好的化学稳定性,能耐酸、耐碱和耐有机溶剂的腐蚀。
(5)可塑性石墨的韧性好,可碾成很薄的薄片。
(6)抗热震性石墨在常温下使用时能经受住温度的剧烈变化而不致破坏,温度突变时,石墨的体积变化不大,不会产生裂纹。

其他
石墨与金刚石、碳60、碳纳米管、石墨烯等都是碳元素的单质,它们互为同素异形体。 石墨是一种非金属矿物,广泛应用于电子、电器、国防、 、航空航天等领域,如电池、中子还原、人造卫星上的导电结构材料、超级电容器,是21世纪战略性新兴矿产资源。按照结晶粒度划分,天然石墨可分为鳞片石墨、隐晶石墨和块状石墨,其中,鳞片石墨较块状石墨和隐晶石墨应用更为广泛。中国主要侧重于大鳞片石墨矿的开发。值得注意的是,随着大鳞片石墨矿的不断开采和利用,细鳞片石墨矿将会成为未来主要的利用资源。因此,应该注重细鳞片石墨矿的开发与利用,提高石墨资源的利用率。
石墨又可分为天然石墨和人造石墨两大类,天然石墨来自石墨矿藏,天然石墨还可分成鳞片石墨、土状石墨及块状石墨。鳞片石墨是天然晶质石墨,其形似鱼磷状,属六方晶系,呈层状结构,具有良好的耐高温、导电、导热、润滑、可塑及耐酸碱等性能,可应用于制造电刷、石墨电极、石墨坩埚等石墨质产品。土状石墨又称为微晶石墨或隐晶石墨,它的使用价值不及鳞片石墨,价格较低,但其机械强度比鳞片石墨高,在制造电极、炭块、冶金和电池负极方面有较大的发展。 [21]细鳞片石墨矿中通常只含有15%~25%的大鳞片石墨。 [20]天然开采得到的石墨含杂质较多,因而需要选矿,降低其杂质含量后才能使用,天然石墨的主要用途是生产耐火材料、电刷、柔性石墨制品、润滑剂、锂离子电池负极材料等,生产部分炭素制品有时也加入一定数量的天然石墨。 [2]
人造石墨是现代炭素工业的新产物,其原料来源广泛,造成生产出来的人造石墨晶 体的聚集状态是不规则的,是一种相对紊乱堆积的多晶石墨,其具有优良的电学、热学和化学稳定性,适于生产人造石墨电极等各种人造石墨功能性材料产品。 [21]炭质炭素制品,以无烟煤和冶金焦为原料,焙烧后不必石墨化,其热导率较低而电阻率较高,没用润滑性,机械强度也很高。石墨质炭素制品则是以易石墨化的石油焦或沥青焦为原料,产品在焙烧后必须经过石墨化高位处理,其热导率高,电阻率低,灰分很低,良好的润滑性,但机械强度下降。炭素材料具有导热性好、膨胀系数低、化学性能稳定、耐腐蚀耐磨损性能良好等优势,在太阳能储热领域具有重要的应用价值。
广义上看,炭素材料应该包括金刚石、石墨、无定形碳、富勒碳及纳米碳五种碳原子的同素异形体所形成的各类材料。从晶体结构上讲,通常所说的炭素材料都是以石墨微晶为基础构成的,不过在各类炭素材料中,微晶的尺寸和微晶的三围排列的有序程度有相当大的差别。从材料的组成上看,生产炭素材料制品所采用的半石墨化原料或加入部分天然石墨或石墨碎,因而各石墨材料的理化性质(如导电导热性、润滑性、耐化学腐蚀性等)也差异很大。因此将炭素制品按理化性区分为炭质、石墨质和半石墨质 3 类。
人造石墨的种类也很多,如单晶石墨、多晶石墨、热解石墨、高定向热解石墨、聚酰亚胺合成的石墨、石墨纤维等,多数人造石墨制品属于多晶石墨一类。人造石墨中的主要产品是电弧炼钢炉及矿热电炉使用的石墨电极,石墨电极是一种耐高温、耐腐蚀的导电材料。人造石墨在其他许多工业部门也有广泛的用途,如机械工业中电机用电刷、精密铸造模具、电火花加工的模具及耐磨部件,化学工业中的电解槽使用的导电体或耐腐蚀器材,高纯度及高强度人造石墨是核工业部门的反应堆结构材料和用作导弹火箭的部件等。
石墨还可制取散热材料、密封材料、隔热材料、和防辐射材料等,石墨功能材料广泛应用于冶金、化工、机械设备、新能源汽车、核电、电子信息、航空航天和国防等行业。欧盟委员会发布的《对欧盟生死攸关的原料》报告中,将石墨列入14 种紧缺矿产原料。


应用
石墨可用于生产耐火材料、导电材料、耐磨材料、润滑剂、耐高温密封材料、耐腐蚀材料、隔热材料、吸附材料、摩擦材料和防辐射材料等,这些材料广泛应用于冶金、石油化工、机械工业、电子产业、核工业和国防等。
耐火材料
在钢铁工业,石墨耐火材料用于电弧高炉和氧气转炉的耐火炉衬、钢水包耐火衬等; 石墨耐火材料主要是整体浇铸材料、镁碳砖和铝石墨耐火材料。石墨还用于粉末冶金和金属铸造成膜材料,石墨粉加入到钢水中增加钢的碳含量,使高碳钢具有许多优异性能。
导电材料
在电气工业上用作制造电极、电刷、碳棒、碳管、水银正流器的正极,石墨垫圈、电话零件,电视机显像管的涂层等。
耐磨润滑材料
石墨在机械工业中常作为润滑剂。润滑油往往不能在高速、高温、高压的条件下使用,而石墨耐磨材料可以在200~2000 ℃温度中在很高的滑动速度下,不用润滑油工作。许多输送腐蚀介质的设备,广泛采用石墨材料制成活塞杯,密封圈和轴承,它们运转时勿需加入润滑油。石墨乳也是许多金属加工(拔丝、拉管)时的良好的润滑剂。
耐腐蚀材料
经过特殊加工的石墨,具有耐腐蚀、导热性好,渗透率低等特点,就大量用于制作热交换器,反应槽、凝缩器、燃烧塔、吸收塔、冷却器、加热器、过滤器、泵设备。广泛应用于石油化工、湿法冶金、酸碱生产、合成纤维、造纸等工业部门,可节省大量的金属材料。
高温冶金材料
由于石墨的热膨胀系数小,而且能耐急冷急热的变化,可作为玻璃器的铸模,使用石墨后黑色金属得到铸件尺寸 ,表面光洁成品率高,不经加工或稍作加工就可使用,因而节省了大量金属。生产硬质合金等粉末冶金工艺,通常用石墨材料制成压模和烧结用的瓷舟。单晶硅的晶体生长坩埚,区域精炼容器,支架夹具,感应加热器等都是用高纯石墨加工而成的。此外石墨还可作真空冶炼的石墨隔热板和底座,高温电阻炉炉管等元件。
原子能与国防工业
石墨具有良好的中子减速剂用于原子反应堆中,铀-石墨反应堆是目前应用较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速材料应当具有高熔点,稳定,耐腐蚀的性能,石墨完全可以满足上述要求。作为原子反应堆用的石墨纯度要求很高,杂质含量不应超过几十个ppm 。特别是其中硼含量应少于0.5 ppm。在国防工业中还用石墨制造固体燃料火箭的喷嘴,导弹的鼻锥,宇宙航行设备的零件,隔热材料和防射线材料。
(1) 石墨还能防止锅炉结垢,有关单位试验表明,在水中加入一定量的石墨粉(每吨水大约用4~5克)能防止锅炉表面结垢。此外石墨涂在金属烟囱、屋顶、桥梁、管道上可以防腐防锈。
(2) 石墨逐渐取代铜成为EDM电极的 材料。
(41) 石墨深加工产品填加到塑料产品和橡胶产品中,可使塑料制品和橡胶制品不产生静电,许多工业产品需要具有防静电和屏蔽电磁辐射功能,石墨产品兼有这两项功能,石墨在塑料制品、橡胶制品及其它相关工业产品中的应用也会增加。

此外,石墨还是轻工业中玻璃和造纸的磨光剂和防锈剂,是制造铅笔、墨汁、黑漆、油墨和人造金刚石、钻石不可缺少的原料。它是一种很好的节能环保材料,美国已用它做为汽车电池。随着现代科学技术和工业的发展,石墨的应用领域还在不断拓宽,已成为高科技领域中新型复合材料的重要原料,在国民经济中具有重要的作用。

石墨粉尘的处理


引言

— 粉尘，一个常见的家用词汇，可以定义为各种物质的细粉状物，通常悬浮在空气中。加工电火花加工电极时产生的粉尘也不例外。任何加工过石墨的人都知道，加工过程中产生的颗粒非常细小，而且容易悬浮在空气中。然而，与常见的家用粉尘不同，石墨粉尘具有一些必须考虑的特性。本文将讨论这些特性，并解答在处理石墨粉尘时经常遇到的问题。

危害或滋扰

— 处理石墨粉尘时最常见的担忧或许是它是否会对人体造成危害。要回答这个问题，我们首先必须了解石墨有两种类型——天然石墨和合成石墨。用于制造电火花加工电极的石墨，以及由此产生的加工粉尘，是合成石墨。合成石墨被认为是一种生物惰性材料，其产生的粉尘被归类为有害物质而非危险物质。石墨中最常见的同位素是碳，而人体本身主要由碳组成，因此与合成石墨中的惰性碳材料具有良好的相容性。由于人体无法将其识别为外来物质，因此不会试图将其排出体外。1

尽管应采取一切措施从源头捕获粉尘，但这几乎是不可能的，肯定会有一些粉尘逸散到周围的大气中。由于粉尘颗粒极其微小，肉眼可能无法看到。石墨粉尘可能会刺激眼睛，并可能导致刺痛、流泪和发红。接触这种粉尘可能对皮肤有磨蚀性和轻微刺激性，但不太可能被吸收。²任何类型的过度接触都会带来某种健康问题，²有害粉尘也不例外。

因此，石墨粉尘的接触指南已制定，并列于材料安全数据表 (SDS) 中。

根据美国政府工业卫生学家协会 (ACGIH) 的规定，石墨粉尘在八小时内的时间加权平均值 (TWA) 接触指南为 10 mg/m³。在此浓度下，石墨粉尘的浓度足以影响能见度。在制造环境中出现如此高的浓度不太可能，²尤其是在使用某种除尘系统的情况下。

长期过度接触石墨粉尘会导致一种慢性且更严重的疾病，称为石墨肺，它是一种尘肺病。当吸入的石墨颗粒滞留在肺部和支气管中时，就会发生这种情况。石墨肺等危害通常与天然石墨有关，但在极少数情况下也与合成石墨有关。天然石墨含有结晶二氧化硅，会引发石墨肺。合成石墨或加工合成石墨产生的任何粉尘中都不含这种物质。啮齿动物的长期吸入研究表明，石墨粉尘不会对健康造成严重影响，但是，应定期采集空气质量样本，以监测空气中石墨粉尘的浓度。

注意：处理浸渍了其他材料（例如铜或钨）的石墨时，应考虑特殊因素。遵循浸渍到石墨中的材料的健康和安全指南。

除尘

— 除了需要收集加工粉尘以保持车间环境清洁并保护员工外，除尘的另一个关键需求是防止石墨颗粒进入电气外壳、控制面板和开关盒。

合成石墨本身具有导电性，如果允许其在易与异物导电材料接触时发生“短路”的区域积聚，可能会造成诸多问题。

电极制造过程中控制石墨粉尘的方法主要有两种。 种方法是使用高风速和除尘器。

专为加工石墨而设计的高速加工中心已经配备了除尘系统，该系统使用强力真空吸尘器清除粉尘。

然而，传统的加工中心，例如铣床、带锯或磨床，必须配备某种类型的二次收集系统。便携式装置非常适合石墨加工量有限的车间，因为可以根据需要将装置从一台机器移动到另一台机器。与普遍认知相反，现成的车间真空系统并不足以处理石墨粉尘，因为其过滤系统通常不适合收集细小的石墨颗粒。为了提高效率，建议使用便携式真空系统。
必须配备符合特定政府效率标准的高效空气微粒过滤器 (HEPA)。根据政府标准，HEPA 过滤器必须能够去除 99.97% 的大于 0.3 微米的颗粒物。

对于大量进行石墨加工的车间来说， 系统是固定式装置，其真空度足以将粉尘从机器中吸出，通过管道系统吸入收集箱。建议加工中心的粉尘捕集速度至少为每分钟 500 英尺。粉尘进入管道系统后，风速应至少为每分钟 2000 英尺，以防止粉尘在进入收集箱之前从气流中沉降。空气速度取决于空气中石墨粉尘的含量，并与每台机器的材料去除速率相关。设计除尘系统的推荐信息来源是《工业通风：美国政府工业卫生学家协会推荐实践手册》。

种除尘方法是使用“湿式”系统，用液体浸透刀具周围的区域，以防止粉尘进入周围大气。粉尘与所用液体接触后，会被冲刷到收集装置中。虽然这种方法可以有效地控制粉尘，但必须注意液体可能会被加工电极材料“吸收”。如果发生这种情况，则必须在将电极放入电火花加工机床之前清除液体，否则可能会污染介电油。

在湿式除尘系统中，应使用水基溶液，因为这种液体不像油基溶液那样容易渗入石墨中。

无论使用何种溶液，电极材料在进行电火花加工 (EDM) 之前都应充分干燥。为了加快干燥过程，可以将材料放入对流烘箱中，在略高于溶液汽化点的温度下干燥约一小时。烘箱温度绝不能超过 204°C (400°F)，否则会导致材料氧化和腐蚀。

此外，切勿使用压缩空气干燥电极，因为气压只会将液体压入电极结构中。

石墨粉尘的爆炸潜力

— 当我们想到控制工作场所的粉尘时，

我们通常会想到如何减少或消除吸入粉尘颗粒的可能性，

以防止健康问题。然而，不幸的是，工作场所积聚的粉尘引发的火灾或爆炸的后果可能远比这严重得多。

过去十年间，制造工厂发生的粉尘爆炸事故无疑引起了媒体的广泛关注，

因为这些悲剧事件造成了不必要的人员伤亡和财产损失。这些事件造成的破坏也引起了职业安全与健康管理局 (OSHA) 的关注。2008 年，OSHA 发布了 CPL 03-00-008 号指令，其中指出：“本指令包含检查产生或处理可燃粉尘的工作场所的政策和程序。在某些情况下，这些粉尘可能导致爆燃、其他火灾或爆炸。”⁴ 根据该指令，通过多种工艺（包括石墨加工）产生粉尘的设施应评估其操作规程，以确定粉尘爆炸的可能性，并制定措施以降低发生此类爆炸的概率。该评估的主要目标是确定粉尘颗粒是否可燃，以及其浓度是否足以点燃。可燃粉尘的定义是：“任何细小的

固体物质，直径为 420 微米或更小

（通过美国 40 号标准筛的物质），

当其分散并在空气中

被点燃时，会造成火灾或爆炸危险。”⁵ 火灾的要素包括燃料、氧气

和点火。当足够浓度的细颗粒物

悬浮在空气中，并暴露于点火源

例如火花或焊接点火器时，就会发生粉尘火灾或爆燃。这最终会导致
粉尘被点燃或燃烧。

² 关于粉尘爆炸，还需要两个额外的要素

即分散和密闭。如果
粉尘分散到足够大的体积，或者
粉尘火灾发生在
密闭空间内，那么
其发展成爆炸的可能性就会显著增加。

控制这些要素中的任何一个，
基本上就能消除
粉尘爆炸的可能性。为了克服石墨粉尘爆炸的潜在风险，该行业主要依靠控制燃料成分，即通过有效的真空系统从源头清除粉尘。然而，这并不能降低处理每个潜在风险的必要性。
评估并确定降低其爆炸风险的措施。

为了提高控制粉尘和降低火灾或爆炸风险的有效性，所有处理石墨粉尘的粉尘控制设备都应配备泄压阀、防爆系统或缺氧环境。充足的通风是 步，并且应该足以限制员工接触空气中的污染物，例如石墨粉尘颗粒。³

爆炸性测试

— 本文篇幅有限，无法详述石墨爆炸性测试的完整流程，但我们已对现场加工作业产生的石墨粉尘进行了测试。

测试结果（第 4 页）表明了石墨粉尘的爆炸性限值。然而，

由于条件各异，
每个车间都需要

针对其具体情况进行爆炸性测试，

才能获得正确的数据，

从而对其活动进行有效的评估。

测试结果表明，

即使在低水分含量和高浓度水平下，
这些测试中使用的石墨粉尘也难以点燃，

其中98.5%的颗粒尺寸小于500微米。

重申一下，可燃粉尘的定义是

尺寸小于或等于420微米的固体颗粒，

可以被点燃。

在车间环境中，在本次测试的浓度水平下，

石墨粉尘很可能浓厚到足以阻碍视线。

因此，

结论是，只要通风良好，

有足够的除尘措施，

并采用有效的清洁和维护程序，

发生石墨火灾或爆炸的可能性极小。

在某些情况下，制造商可以提供补充信息。

可燃性信息的一个可能来源是该材料的安全数据表 (SDS)。

每份 SDS 中都应包含危险说明，
以明确该材料在其当前形态或未来转化形态下是否为可燃产品。

SDS 还应标明暴露控制限值以及危险材料信息系统 (HIMS) 和美国国家消防协会 (NFPA) 的评级。

请联系您的石墨供应商，获取您特定材料的 SDS 副本。

结论

— 粉尘是制造环境中无处不在的，

由包括生产设备、物料搬运和机械加工在内的各种工艺产生。

如果通过有效的清洁和除尘措施将粉尘积聚量控制在限值范围内，

则粉尘的产生并不必然导致安全和健康风险。然而，当过量的粉尘积聚并接触到点火源时，后果可能不堪设想。

尽管我们的测试表明石墨粉尘难以点燃，但这并不意味着我们可以免除持续改进石墨粉尘处理方式的责任。近年来，人们开发了一些旨在提高爆炸风险识别能力的措施。这些措施通常包括安全监控设备、改进的粉尘收集系统以及实施有效的安全计划，该计划涵盖良好的现场管理规范和高效的预防性维护方案。虽然无法完全消除粉尘火灾或爆炸，但这些措施的使用可以显著降低其发生的可能性。

了解粉尘火灾或爆炸的要素，

了解石墨粉尘的爆炸潜力，

以及可获取更多信息的资源，

能够极大地提高识别潜在风险并在为时过晚之前消除风险的能力。